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        • 廢水變純水 莊子壽鑽研15年
        • 中央社中央社 – 2011年10月23日 下午2:16

          (中央社記者楊思瑞台南23日電)台積電公司推動製程廢水回收10多年,將回收率提升至9成,現任新廠規劃暨工程處長的莊子壽參與從無到有的所有過程,帶領團隊突破各項瓶頸,可說是重要的幕後推手。

          台灣的年平均降雨量雖高,但因地形坡陡流急,水庫能留住的水有限,雨水很快就流入海中;加上旱季和雨季的降雨不均,使台灣在全球缺水國家地區中榜上有名。許多電子大廠在製程中需消耗大量純水,卻又是台灣重要產業,新竹科學園區管理局在民國84年起要求廠商發展廢水回收系統,盼降低用水量。

          台積電約在15年前開始研發製程廢水回收作業,莊子壽被委以重任,幾乎從零開始摸索,參考國內外各種相關資料、尋找配合廠商,做出自己的廢水回收系統。

          莊子壽說,晶圓廠對製程用水的品質要求極高,初期的回收水多僅用於冷卻水塔、沖馬桶和澆灌花木;後來法律又規定回收水不能澆花。若不能讓回收水再回到製程,省水的效果便相當有限。

          晶圓製程產生的廢水中,含有微量的金屬離子及酸鹼等化學物質,要將這些東西抽離、中和後,讓水質回到與自來水相當、甚至更好,才能再經由純化處理系統,成為純水進入製程。

          莊子壽說,要把微量雜質弄掉,比把很髒的水弄乾淨要來得複雜,研發過程中碰到許多瓶頸。好不容易把成果做出來了,製程部門卻還是擔心回收水的品質,需再配合穩定的水質監控系統,並經不斷溝通,才讓製程部門接受。

          經過10多年來累積的經驗與技術,台積電新設廠區的製程廢水回收率已可達到90%,其餘廠區也提升至80%至85%。相較於未做回收前的狀況,每年約可節省約1座新竹寶山第二水庫的容量。

          莊子壽認為,這是台積電近100名工程人員和協力廠商的努力成果,自己不敢居功,也希望將研發的經驗及技術,推廣給更多企業,相信能為國家節省更多工業用水。

          他說,起初投入回收水的領域,並非因為懷抱特殊的熱情或理想,就是當成公司交付的任務,但愈做愈覺得有意義,常在心裡思量「若不做節水,台灣的水可能會被我們用光」。現在不僅替公司節省開支,還能對環境有貢獻,想到就很開心。1001023

          (中央社記者楊思瑞攝 100年10月23日)

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        • 引用(1490) 2011-10-24 16:15




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