中央社 – 2011年10月23日 下午2:16

（中央社記者楊思瑞台南23日電）台積電公司推動製程廢水回收10多年，將回收率提升至9成，現任新廠規劃暨工程處長的莊子壽參與從無到有的所有過程，帶領團隊突破各項瓶頸，可說是重要的幕後推手。

台灣的年平均降雨量雖高，但因地形坡陡流急，水庫能留住的水有限，雨水很快就流入海中；加上旱季和雨季的降雨不均，使台灣在全球缺水國家地區中榜上有名。許多電子大廠在製程中需消耗大量純水，卻又是台灣重要產業，新竹科學園區管理局在民國84年起要求廠商發展廢水回收系統，盼降低用水量。

台積電約在15年前開始研發製程廢水回收作業，莊子壽被委以重任，幾乎從零開始摸索，參考國內外各種相關資料、尋找配合廠商，做出自己的廢水回收系統。

莊子壽說，晶圓廠對製程用水的品質要求極高，初期的回收水多僅用於冷卻水塔、沖馬桶和澆灌花木；後來法律又規定回收水不能澆花。若不能讓回收水再回到製程，省水的效果便相當有限。

晶圓製程產生的廢水中，含有微量的金屬離子及酸鹼等化學物質，要將這些東西抽離、中和後，讓水質回到與自來水相當、甚至更好，才能再經由純化處理系統，成為純水進入製程。

莊子壽說，要把微量雜質弄掉，比把很髒的水弄乾淨要來得複雜，研發過程中碰到許多瓶頸。好不容易把成果做出來了，製程部門卻還是擔心回收水的品質，需再配合穩定的水質監控系統，並經不斷溝通，才讓製程部門接受。

經過10多年來累積的經驗與技術，台積電新設廠區的製程廢水回收率已可達到90%，其餘廠區也提升至80%至85%。相較於未做回收前的狀況，每年約可節省約1座新竹寶山第二水庫的容量。

莊子壽認為，這是台積電近100名工程人員和協力廠商的努力成果，自己不敢居功，也希望將研發的經驗及技術，推廣給更多企業，相信能為國家節省更多工業用水。

他說，起初投入回收水的領域，並非因為懷抱特殊的熱情或理想，就是當成公司交付的任務，但愈做愈覺得有意義，常在心裡思量「若不做節水，台灣的水可能會被我們用光」。現在不僅替公司節省開支，還能對環境有貢獻，想到就很開心。1001023

（中央社記者楊思瑞攝 100年10月23日）